สามารถใช้ในการทําความร้อนและการปั๊มน้ําเหลวแฮลอยด์ สารประกอบอินทรีย์โลหะไฮโดรคาร์บอนและแหล่งปฏิกิริยาอื่น ๆ ภายใต้ความดันเฉพาะเพื่อสร้างฝุ่นแข็งบนพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายมันยังใช้สําหรับการฝากควาบเคมีของวัสดุประกอบที่มีก๊าซไฮโดรคาร์บอน (เช่น C3H8 ฯลฯ) เป็นแหล่งคาร์บอน, เช่นวัสดุประกอบ C / C, SiC ประกอบ
วัสดุ, CVD, การประมวลผล CVI