การใช้งาน สอบเขตการใช้งาน และการจัดหมวดของเตาอบ CVD
เตาเผาเปล่งเป็นชนิดของอุปกรณ์กระบวนการอุณหภูมิสูงที่ใช้อย่างแพร่หลายในสาขาการเตรียมวัสดุและวิศวกรรมผิวพวกมันใช้หลักๆในการฝากวัสดุหนังบาง 1 ชั้นหรือมากกว่าบนพื้นผิวของพื้นฐาน โดยวิธีทางกายภาพหรือทางเคมีการพัฒนาของอุตสาหกรรม เช่น โครงการครึ่งประสาท, optoelectronics, และพลังงานใหม่ความสําคัญของเตาอบฝังได้กลายเป็นที่โดดเด่นมากขึ้น.
I. การใช้งานหลักของเตาอบปูน
การใช้งานหลักของเตาฝังคือการบรรลุการเตรียมของวัสดุหนังบางที่ควบคุมได้โดยการนําก๊าซหรือวัตถุล่วงหน้าที่ระเหยเข้าสู่ปฏิกิริยาหรือการปรับความหนาแน่นบนพื้นผิวของสับสราท ภายใต้อุณหภูมิสูงการใช้งานทั่วไปประกอบด้วย: การฝากชั้นนําและชั้นปิดในการผลิตอุปกรณ์ครึ่งนําการเตรียมชั้นดูดซึมแสงและชั้นป้องกันการสะท้อนแสงในเซลล์แสงอาทิตย์· การจัดทําฟิล์มป้องกันการสะท้อนและป้องกันการสะท้อนบนพื้นผิวขององค์ประกอบทางออนไลน์ในสาขาวิจัยวิทยาศาสตร์หมองฝังยังถูกใช้ในการพัฒนาวัสดุใหม่ เช่นการวิจัยวัสดุสองมิติ นาโนฟิล์มและวัสดุประกอบที่ใช้ได้
II. พื้นที่ใช้งานของเตาอบฝัง
สาขาใช้งานของเตาอบฝังเป็นขอบเขตที่กว้างขวางมาก ครอบคลุมหลายสาขา เช่น ข้อมูลอิเล็กทรอนิกส์, พลังงาน, ท้องอากาศ, อุตสาหกรรมรถยนต์และการแพทย์ชีวภาพในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์, มันเป็นหนึ่งในอุปกรณ์หลักสําหรับการผลิตชิปและการผลิตวงจรบูรณาการ ในสาขาพลังงานใหม่, มันถูกใช้อย่างแพร่หลายในการจัดเตรียมเซลล์ไฟฟ้าไฟฟ้าวัสดุอิเล็กทรอดแบตเตอรี่ลิเดียม และฟิล์มเซลล์เชื้อเพลิงในสาขาอากาศศาสตร์, มันถูกใช้สําหรับการเตรียมผิวเคลือบกันออกซิเดนที่อุณหภูมิสูงและผิวเคลือบอุณหภูมิเพื่อเพิ่มผลงานของวัสดุในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในสาขาผลิตเครื่องจักรกล, ใช้ในการบํารุงผิวของเครื่องมือตัดและหมูเพื่อเพิ่มความทนทานต่อการสวมและอายุการใช้งานการเคลือบที่เข้ากันได้ด้วยชีวภาพบางชนิดยังพึ่งพากระบวนการเตาฝังที่ต้องการให้สําเร็จ.
Iii การจัดหมวดของเตาอบฝัง
ตามหลักการกระบวนการและลักษณะโครงสร้างที่แตกต่างกัน หม้อหลอมหลอมสามารถแบ่งออกเป็นหลายชนิด
1การจัดหมวดตามรูปแบบการปะทะ
(1) เตาเผาผงผงเคมี (เตาเผา CVD) : ผ่านปฏิกิริยาเคมีของสารนําทางเป็นก๊าซในอุณหภูมิสูง, หนังแข็งจะเกิดบนผิวของพื้นฐาน.อุปกรณ์ประเภทนี้มีความเหมือนกันที่ดีในการปะทะและเหมาะสําหรับการผลิตขนาดใหญ่.
(2) หม้อฝากควายทางกายภาพ (หม้อ PVD) : มันฝากวัสดุบนพื้นผิวของพื้นฐานโดยวิธีทางกายภาพเช่นการระเหยและการพ่นและเหมาะสําหรับการเตรียมฟิล์มอุณหภูมิต่ําหรือความแม่นยํา.
2การจัดหมวดหมู่ตามสภาพแวดล้อมกระบวนการ
(1) เตาเผาปนลงแรงกดอากาศ: การปนลงจะดําเนินการภายใต้สภาพใกล้แรงกดอากาศโครงสร้างของอุปกรณ์ค่อนข้างเรียบง่ายและเหมาะสําหรับการใช้งานอุตสาหกรรมบาง.
(2) เตาเผาผงความดันต่ําหรือระยะว่าง: ทําในบรรยากาศระยะว่างหรือความดันต่ําส่งผลให้การปรับปรุงความบริสุทธิ์และความเรียบร้อยของฟิล์ม และเป็นอุปกรณ์หลักในการผลิตระดับสูง.
3การจัดหมวดตามวิธีการทําความร้อน
เตาเผาฝากความต้านทาน: มีโครงสร้างที่มั่นคงและควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยํา และเป็นที่ใช้กันมากที่สุด
(2) หม้อฝากอุ่นด้วยการปรับอุณหภูมิ: มีอัตราการทําความร้อนอย่างรวดเร็วและเหมาะสําหรับกระบวนการที่เร็วในอุณหภูมิสูง
(3) โฟนฝากพลาสมา: โดยการเพิ่มความปฏิกิริยาของพลาสมา, การฝากหนังที่มีคุณภาพสูงสามารถบรรลุได้ในอุณหภูมิที่ค่อนข้างต่ํา
IV. แนวโน้มการพัฒนา
ด้วยการพัฒนาวัสดุใหม่และเทคโนโลยีการผลิตไมโครนาโน องุ่นฝังกําลังพัฒนาไปสู่ความแม่นยําสูง ความฉลาดและการบูรณาการหลายฟังก์ชันโดยนําระบบควบคุมอัตโนมัติและเทคโนโลยีการติดตามออนไลน์, การกําหนดความหนาและองค์ประกอบของฟิล์มในเวลาจริงสามารถบรรลุได้ ขยายการใช้งานวัสดุยืดหยุ่นและวัสดุอินทรีย์ผ่านเทคโนโลยีการฝังอุณหภูมิต่ําแนวคิดการผลิตสีเขียวยังส่งเสริมการปรับปรุงอุปกรณ์เพื่อประหยัดพลังงานและคุ้มครองสิ่งแวดล้อม.
โดยรวมแล้ว เตาเผาฝากเป็นอุปกรณ์สําคัญในอุตสาหกรรมวัสดุที่ทันสมัย มีบทบาทที่ไม่สามารถแทนที่ได้ ในการเพิ่มผลงานของวัสดุและส่งเสริมการผลิตระดับสูงความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีของพวกเขายังคงขับเคลื่อนการพัฒนาของอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้อง.
